Prozesspumpen für Halbleitertechnologie und Photovoltaik
Die in diesem Abschnitt vorgestellten Vakuumpumpen stellen Lösungen dar, die speziell für die harten Produktionsanforderungen an eine Prozesspumpe in Halbleitertechnologie und Photovoltaik entwickelt wurden.
Die Prozesspumpen zeichnen sich durch minimalen Platzbedarf, einfache Bedienung und Wartung aus. Bei einem hervorragenden Verhältnis von Leistung zu Platzbedarf bleiben dise Vakuumpumpen stets zuverlässig und robust. Niedrige Betriebskosten und weltweit verfügbare technische und Applikationsunterstützung runden das Paket rund um die Pumpe ab.