| Specifications |
ATH 2800 M |
ATH 3200 M |
| Anschluss Saugseite |
|
250 ISO-F / CF-F |
DN 320 ISO-F |
| Drehzahl |
upm |
25000 |
25000 |
| Saugvermögen Argon |
l/s |
2000 |
2400 |
| Saugvermögen Stickstoff |
l/s |
2050 |
2600 |
| Saugvermögen Helium |
l/s |
215 |
2400 |
| Saugvermögen Wasserstoff |
l/s |
1750 |
1800 |
| Kompressionsverhältnis Argon |
|
1 · 109 |
1 · 109 |
| Kompressionsverhältnis Stickstoff |
|
1 · 109 |
1 · 109 |
| Kompressionsverhältnis Helium |
|
1 · 104 |
1 · 104 |
| Kompressionsverhältnis Wasserstoff |
|
1 · 103 |
1 · 103 |
| Enddruck |
mbar |
10-8 |
10-8 |
| Max. Dauer-Gasdurchsatz N2 |
sccm |
5000 |
5000 |
| Max. Dauer-Einlassdruck |
mbar |
0,26 |
0,26 |
| Max. Druck am Auslass |
mbar |
1,5 |
1,5 |
| Hochlaufzeit |
min |
< 10 |
< 10 |
| Abmessungen (L x B x H) |
mm |
367 x 367 x 409 |
367 x 367 x 351 |
| Gewicht |
kg |
80 |
80 |
| Kühlwasserverbrauch |
l/min |
> 1 |
> 1 |
| Stromversorgung |
|
200 - 240 V - 50/60 Hz - einphasig |
200 - 240 V - 50/60 Hz - einphasig |
| Max. Leistungsaufnahme |
W |
1200 |
1200 |
