Magnetgelagerte Turbomolekular-
pumpen ATH 1300 / 1600 / 2300 M(T)

Die ATH M-Serie beinhaltet Hochleistungs-Turbomolekularpumpen für Nennweiten zwischen DN160 und DN250. Haupteinsatzgebiete sind Halbleiterproduktion, beschichtende Plasmaverfahren, Sputtern sowie Trockenätzen. MT-Modelle verfügen über ein Temperaturmanagement durch integrierte Heizung. Die prozessoptimierte Regelung von Heizband und Kühlwasser hält die Pumpe auf einer konstanten Temperatur (bis zu 75°C), um Kondensation von Prozesschemikalien oder Nebenprodukten in der Pumpe zu minimieren.

• Sehr hoher Gasdurchsatz für alle Prozessgase.
• Hervorragende Langzeitstabilität und Zuverlässigkeit durch die beste verfügbare Lagertechnologie und breite Prozessfenster.
• Frei wählbare Drehzahl in breitem Drehzahlbereich für optimierte Prozessanpassung
• Sauberes Vakuum durch schmiermittelfreies Magnetlager.
• Geringste Geräuschentwicklung und Vibrationen, in jeder Lage montierbar, permanente Kontrolle der Rotorposition dank aktiver Magnetlagertechnologie.
• Extreme Zuverlässigkeit und Langzeitstabilität durch die beste verfügbare Lagertechnologie.
• Geringe Lebensdauerkosten durch annähernd wartungsfreie Technologie
• Frei wählbare Drehzahl in breitem Drehzahlbereich für optimierte Prozessanpassung
• Hohe Vorvakuumverträglichkeit
• Hohe Lufteinbruchstabilität
• Kompakte Bauweise – das beste Volumen-zu-Leistungs-Verhältnis ihrer Klasse, gut zu integrieren im Austausch gegen klassisch gelagerte Turbomolekularpumpen