Hochvakuumpumpen

Die in diesem Abschnitt vorgestellten Vakuumpumpen (Verdränger) arbeiten im Druckbereich unterhalb von etwa 10 mbar. Hier beginnen Feinvakuum, sowie Hoch- und Ultrahochvakuum. Für diesen Druckbereich bietet adixen eine breite Palette an fettgeschmierten und ölfreien Vakuumlösungen an.

Hochvakuumpumpen können nicht gegen Atmosphärendruck arbeiten und werden in Reihenschaltungen mit Vorpumpen eingesetzt.

Hoch- bzw. Feinvakuumpumpen sind mechanische Vakuumpumpen für den Fein- und Hochvakuumbereich bis zum Ultrahochvakuum. Beherrschende Bautypen sind Molekularpumpen, Turbomolekularpumpen und Hybridpumpen. Diese Pumpen nutzen die Bewegung der Gasteilchen für ihre Pumpwirkung aus (Gaskinetik). Da die Geschwindigkeit der Gasatome und -moleküle einige hundert Meter pro Sekunde beträgt, müssen die Rotoren dieser Pumpen hohe Drehzahlen haben, damit ihre Oberflächen vergleichbare Geschwindigkeiten erreichen.

Treffen einzelne Moleküle auf eine Wand, werden sie nicht wie eine Billardkugel sofort wieder abgestoßen, sondern haben eine gewisse Verweilzeit auf der Oberfläche. Bewegt sich die Oberfläche also ausreichend schnell, werden die Teilchen mittransportiert. Wenn sie die Oberfläche wieder verlassen, "nehmen sie die Geschwindigkeit der Oberfläche mit" und fliegen so in Pumprichtung davon. Dies ist das Funktionsprinzip der Molekularpumpe.

Während der Entwicklung unserer Molekularpumpen und Turbomolekularpumpen für den Feinvakuumbereich werden aufwendige Computersimulationen nach hauseigenen Routinen eingesetzt, um hohen Gasdurchsatz, hervorragendes Temperaturverhalten und minimale Vibrationen zu erzielen.

Während der Produktion werden wichtige Parameter wie Dimensionskontrolle, Materialanalysen und Sauberkeit permanent überwacht. Alle funktionsrelevanten Bauteile stellen wir in unserem modernen Maschinenpark auf CNC-Universal-Fräsmaschinen für die 5-Achs-Bearbeitung und Hochgeschwindigkeits-Präzisionszentren her.