Ölfreie Vakuumpumpen für Vor- und Feinvakuum

Basierend auf unseren Erfahrungen mit den anspruchsvollsten Produktionsprozessen haben wir unser Angebot an ölfreien Vakuumpumpen für Anwendungen erweitert, in denen nicht nur ölfreies Vakuum, sondern bestmögliche Reinheit und Partikelfreiheit gefragt sind. Das berührungsfreie Prinzip der mehrstufigen Wälzkolben-Vakuumpumpe ermöglicht dabei bestmögliche Langzeitstabilität und höchste Anlagenverfügbarkeit gepaart mit minimalen Betriebskosten.

Seit Jahrzehnten zählen daher Weltmarktführer aus der Halbleiterindustrie zu den zufriedenen Kunden von Alcatel Vacuum Technology.

Unsere ölfreien Vakuumpumpen sind als kompakte, luftgekühlte Lösungen erhältlich. Ihre Ergänzung findet die Kompaktklasse in leistungsstarken, wassergekühlten Lösungen für hohen Gasdurchsatz oder ultrakurze Abpumpzeiten. Ihre Anwendung finden die großen Vakuumpumpsysteme vor allem in grossvolumingen Schleusen in der Halbleiter- oder Solarindustrie und in der Herstellung von Flachdisplays.

In der instrumentellen Analytik werden unsere Membranpumpen in kompakten Vakuum-Pumpständen eingesetzt. Die mehrstufigen Wälzkolbenpumpen decken einen weiten Anwendungsbereich zur Vakuumerzeugung oder in Gaskreisläufen mit teuren Gasen ab.