Ölfreie Vakuumpumpen für Fein- und Grobvakuum
Basierend auf unseren Erfahrungen mit den anspruchsvollsten Produktionsprozessen haben wir unser Angebot an ölfreien Vakuumpumpen für Anwendungen erweitert, in denen nicht nur ölfreies Vakuum, sondern höchste Reinheit und Partikelfreiheit gefragt sind. Ganz egal, ob sie ein Grobvakuum oder ein Feinvakuum benötigen.
Das berührungsfreie Prinzip der mehrstufigen Wälzkolben-Vakuumpumpe ermöglicht dabei bestmögliche Langzeitstabilität und höchste Anlagenverfügbarkeit gepaart mit minimalen Betriebskosten.
Seit Jahrzehnten zählen daher Weltmarktführer aus der Halbleiterindustrie zu den zufriedenen Kunden von adixen.
Unsere ölfreien Vakuumpumpen für Fein- und Grobvakuum sind als kompakte, luftgekühlte "Trockenläufer" erhältlich. Ihre Ergänzung findet die Kompaktklasse in leistungsstarken, wassergekühlten Lösungen für hohen Gasdurchsatz oder ultrakurze Abpumpzeiten. Ihre Anwendung finden die großen Trockenläufer vor allem in großvolumingen Schleusen in der Halbleiter- oder Solarindustrie und in der Herstellung von Flachdisplays.
In der instrumentellen Analytik werden unsere Membranpumpen in kompakten Vakuum-Pumpständen eingesetzt. Die mehrstufigen, ölfreien Wälzkolbenpumpen decken einen weiten Anwendungsbereich zur Vakuumerzeugung - von Grobvakuum bis Feinvakuum - oder in Gaskreisläufen mit teuren Gasen ab.