Schleusen und Transferkammern
Basierend auf der Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpe bietet adixen Lösungen für Front End und Back End-Anwendungen in 200 mm- und 300 mm-Produktionslinien.
- Saubere Prozesse: Schleusen, Transferkammern, Sputtern, PVD, Metrologie,…
- Mittelschwere Prozesse: Trockenätzen, Implant, Stripping, RTP,…
- Anspruchsvolle Prozesse: CVD,…