Ölfreie Pumpen für die anspruchsvollsten Prozesse A3H-Serie

Die A3H-Serie – robustes Design mit langer Standzeit

Basierend auf der bewährten Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpe bietet adixen mit der A3H-Serie Pumpenlösungen für die neuesten Herausforderungen in der Halbleiterproduktion für 300 mm-Fabs mit 45 nm-Technologie und darunter. Im Vergleich zu bisherigen Prozesspumpen wurden Gasdurchsatz, Partikeltoleranz und Kondensationsresistenz erhöht.

• Längere Wartungsintervalle durch verbesserte Partikeltoleranz und Kondensationsresistenz
• Optimale Tauglichkeit für anspruchsvolle CVD-Prozesse durch Einsatz korrosionsresistenter Materialien und hohen Gasdurchsatz
• Reduzierte Betriebskosten durch minimalen Energieverbrauch
• Mehrstufige Wälzkolbentechnologie mit Temperaturkontrolle und Inertgasspülung
• Minimaler Platzbedarf durch kompakte Bauweise
• Geringe Geräuschentwicklung und niedriges Vibrationsniveau
• Normenkonform nach CE und Semi S2 - 0706