Prozesspumpen
adixen bietet Prozesspumpen für alle Prozesse der Halbleiter- und Solarindustrie (engl. "Semiconductor Technology" & "Photovoltaik") sowie der Bildschirmproduktion.
Gerade in den extrem sensitiven Bereichen der Halbleiter-Herstellung und bei der Produktion von Solar-Panelen, in denen oft mit Beschichtungen in Atom-Dicke gearbeitet wird, ist hochreines, partikelfreies Vakuum extrem wichtig. Daher kommen hier vor allem ölfreie Pumpsysteme zum Einsatz.
Zusätzlich werden oft aggressive und korrosive Materialien verwendet. Daher müssen die Pumpen für verschiedene Prozesse, wie z.B. der chemischen Abscheidung (CVD) absolut korrosionsfest sein.
Unsere ölfreien Prozesspumpen können in den unterschiedlichsten Produktionsschritten eingesetzt werden:
- Veraschen
- Stripping
- Trockenätzen
- Implant
- CVD, PECVD und LPCVD