Prozesspumpen
Alcatel Vacuum Technology bietet Prozesspumpen für alle Prozesse der Halbleiter- und Solarindustrie sowie der Bildschirmproduktion. Unsere ölfreien Prozesslösungen können in den unterschiedlichsten Produktionsschritten eingesetzt werden:
- Veraschen
- Stripping
- Trockenätzen
- Implant
- CVD, PECVD und LPCVD