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adixen Pod Regenerator
Weniger Defekte und erhöhte Ausbeute
Der adixen Pod Regenerator (APR)* für integrierte Schaltkreise mit Dimensionen < 130 nm dekontaminiert Wafer und ihre Transportboxen auf molekularer Ebene und schützt vor nachfolgenden Verunreinigungen. Der APR ist die ultimative Lösung für durch Luftströmungen übertragene Verunreinigungen (Airborne Molecular Contamination, AMC).
- Gesteigerte Ausbeute in einer Fab
- Optimierte Wartezyklen zwischen einzelnen Prozess-Schritten
- Geringe Betriebskosten
Die Anwendungsgebiete
- Unterbindet Kristallwachstum und Korrosion
- Entfernt Verunreinigungen - Luft, Halogene, organische Komponenten
- Unterdrückt Kontaminationsverschleppungen in einer Fab
- Verhindert AMC auf dem Substrat und der Transportbox – HF, HCl, flüchtige organische Verbindungen
- Schützt Wafer und Transportbox gegen Verunreinigungen über mehrere Tage
Der APR
- Benutzerfreundliches Interface
- Automatische Reinigung nach manueller Beladung
- Geringer Platzbedarf
- Öffnen des Pods nicht erforderlich
Die Gefahren
Durch Luftströmungen übertragene Verunreinigungen (Airborne Molecular Contamination, AMC) verringern Ausbeute und Qualität in der Fabrikation integrierter Schaltkreise mit Dimensionen < 130 nm.
- Säuren greifen Kontakte an, legen Schleier auf Schaltkreise und können als Kristalle wachsen
- Ammoniak und Amine greifen Maskenmaterial an, modifizieren die Critical Dimension und legen Schleier auf Schaltkreise
- Lösungsmittel dotieren das gate oxide, verringern Ätzraten und verunreinigen Epitaxieprozesse
Beispiel für die verbesserte Ausbeute
Wie funktioniert der APR ?
Der APR verhindert effektiv die Adsorption von kontaminierenden Molekülen auf der Oberfläche eines Wafers und der Transportbox. Durch Evakuieren wird der Druck erniedrigt und die Adsorptionswahrscheinlichkeit massiv reduziert.
Das integrierte System
Die einfache Benutzerführung ist für den Reinraumeinsatz optimiert
- Bedienerfreundliches graphisches Benutzer-Interface
- Pod-Identifikation durch Barcodeleser
- Pod fingerprint
- Automatische Messwertspeicherung und Datenexport
- Vernetzung über Ethernet und HSMS
Die vollautomatische Version für mehrere Pods in Vorbereitung nach Semi E15.1