adixen Pod Analyser ver.2009

Effiziente Überwachung von Verunreinigungen

Der adixen Pod Analyser (APA)* misst die atmosphärische Zusammensetzung in einem POD-System und der unmittelbaren Umgebung. Die Messung erfolgt in Echtzeit mit hoher Empfindlichkeit im ppb-Bereich. Der APA ist der erste Schritt in die Reinraumtechnologie der Zukunft:

• Prozesskontrolle in Echtzeit
• Optimierte Wartezyklen zwischen einzelnen Prozess-Schritten
• Gesteigerte Ausbeute

Die Anwendungsgebiete

• Reinigungsstrategien für die Umgebungen von Wafern und Masken
• Lagerungsoptimierung für Equipment und Prozesschemikalien
• Analyse und Minimierung von Cross contamination in einer Fab

Vorteile

• Benutzerfreundliches Interface
• Automatische Analyse
• Geringer Platzbedarf
• Öffnen des Pods nicht erforderlich

Die Gefahren

Durch Luftströmungen übertragene Verunreinigungen (Airborne Molecular Contamination, AMC) verringern Ausbeute und Qualität in der Fabrikation integrierter Schaltkreise mit Dimensionen < 130 nm.

• Säuren greifen Kontakte an, legen Schleier auf Schaltkreise und können als Kristalle wachsen
• Ammoniak und Amine greifen Maskenmaterial an, modifizieren die Critical Dimension und legen Schleier auf Schaltkreise
• Lösungsmittel dotieren das gate oxide, verringern Ätzraten und verunreinigen Epitaxieprozesse

Das Kontrollsystem

Die einfache Benutzerführung ist für den Reinraumeinsatz optimiert

• Pod-Identifikation durch Barcodeleser
• Automatische Messwertspeicherung
• Alarmschwellen für erhöhte Verunreinigungen
• Graphisches Benutzer-Interface
• Vernetzung über Ethernet
• Datenspeicherung und online-Analyse
• Überwachung von Airborne Molecular Contamination, AMC

Die vollautomatische Version in Vorbereitung

* zum Patent angemeldet