Advanced Solutions
Eine der Hauptaufgaben in der Halbleiterproduktion ist die bestmögliche Ausbeute in den einzelnen Prozess-Schritten.
Unser APA (adixen pod analyser) überwacht Verunreinigungen zwischen einzelnen Prozess-Schritten im ppbv-Bereich.
Der APR (adixen pod regenerator) dekontaminiert Wafer und ihre Carrier auf molekularer Ebene.