Ölfreie Prozesspumpen ADP/ADS Serie Zwei

Die ADP/ADS Serie 2 – prozesstauglich, kompakt, zuverlässig

Die ADP/ADS-Serie umfasst vier Modelle für vielfältige Anforderungen an den Gasdurchsatz. Die Pumpen sind in Versionen für saubere Anwendungen (Schleusen- und Transferkammern), mittelschwere Prozesse (P-Version) und die anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterindustrie (H-Serie) erhältlich.

• Hohe Prozesstauglichkeit und Partikeltoleranz
• Präzise Temperaturkontrolle zur Vermeidung von Kondensation von Prozesschemikalien
• Vertikaler Gasfluss im Pumpenkörper vermeidet Partikelansammlung
• Geringe Betriebskosten durch geringe Leistungsaufnahme, niedrigen Kühlwasser- und Spülgasverbrauch – Schleusenpumpen können ohne Spülgas betrieben werden
• Kompakte Abmessungen sparen wertvollen Platz im Pumpenraum
• Normenkonform nach Semi S2