Ölfreie Pumpen für anspruchsvolle Prozesse ADKH Serie

Die ADKH-Serie – hohes Saugvermögen für maximalen Gasdurchsatz in Solarindustrie und Flachbildschirmproduktion

Basierend auf der bewährten Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpe führt adixen eine modulare Pumpenserie ein, die auf hohe Prozessgasflüsse auch der aggressivsten Medien ausgelegt ist. Hauptanwendungen sind Plasma-CVD-Prozesse in Solarindustrie und Flachbildschirmproduktion.

• Felderprobte Materialien auch für die stärksten Oxidationsmittel wie NF3
• Integrierte Partikelfallen (optional) für hohe Zuverlässigkeit auch bei starkem Partikelanfall
• Aktive Temperierung um Kondensation von Nebenprodukten zu vermeiden
• Hohe Anlagenverfügbarkeit und niedrige Betriebskosten durch lange Wartungsintervalle
• Überwachungsmöglichkeit und Vorhersage präventiver Wartung durch Einbindung in das adixen-Überwachungsnetzwerk