Basierend auf der bewährten Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpe führt adixen eine Pumpenserie aus drei Modellen ein, die sich durch drastisch reduzierte Betriebskosten in der Halbleiterproduktion auszeichnet. Im Vergleich zu bisherigen Pumpentechnologien sind Energieeinsparungen bis zu 50 % möglich. Die kompakten Pumpen integrieren die modernsten Erkenntnisse für Prozesstauglichkeit und erlauben eine Platzeinsparung bis zu 50% im Vergleich zu bisherigen Pumpen.