Ölfreie Turbomolekular-Pumpstände
Komplettlösungen mit ölfreien Vorpumpen
Ein ölfreie Turbomolekular-Pumpstand sind vorkonfigurierte, genau aufeinander abgestimmte Kombination aus einer Vorvakuumpumpe (oft auch als Grobvakuum- oder Vorpumpe bezeichnet) und einer Pumpe für Hoch- und Ultrahochvakuum. Die Besonderheit eines solchen Pumpstandes: Nicht nur die Hochvakuumpumpe, sondern auch die Vorpumpe (z.B. eine Wälzkolbenpumpe) arbeitet ohne Öl als Betriebsmittel. Das verhindert sowohl Ölrückstände als auch Kondensate im endgültigen Vakuum und ist immer dann notwendig, wo Öl eine gefährliche Verunreinigung im Vakuumprozess darstellt.
Ölfreie Turbomolekular-Pumpstände sind in einer Vielzahl von Kombinationen und in verschiedenen Geometrien verfügbar.
- Drytel - Membranpumpen mit Molekular- oder Hybrid-Turbomolekularpumpen
- Turbopack und Turbostand - mehrstufige Wälzkolbenpumpen mit klassischen Turbomolekularpumpen
- Turbostand 900 - kundenspezifische Lösungen mit mehrstufigen Wälzkolbenpumpen und Hybrid-Turbomolekularpumpen oder magnetgelagerten Turbomolekularpumpen