Magnetgelagerte Turbomolekularpumpen
Unsere Maglev-Turbomolekularpumpen sind nicht einfach nur magnetgelagert – ein so genanntes aktives 5-Achsen-Magnetlager überwacht die Position des Rotors und regelt eventuelle Abweichungen von der Soll-Position in Echtzeit aus.
Durch diese höchstwertige Lagertechnologie erzielen wir bestmögliche Langzeitstabilität und Zuverlässigkeit gepaart mit hoher Laufruhe. Lagertechnologie und Prozessausrüstung der Hochvakuumpumpe machen unsere ATH M und ATP M-Serie zur Referenz von Hochleistungs-Turbomolekularpumpen in Halbleiterproduktion, beschichtenden und trockenätzenden Plasmaverfahren sowie in vielen industriellen und F&E-Anwendungen.
- Permanente Kontrolle der Rotorposition durch aktives 5-Achsen-Magnetlager.
- Automatisches Wuchten in Echtzeit. Welche Auslenkung der Rotor auch immer macht – das Magnetlager hält ihn auf Position, auch bei Unwucht oder asymmetrischer Beschichtung.
- Sehr wartungsarm – keine Servicearbeiten an Magnetlager oder klassischen Kugellagern.
- Extreme Langzeitstabilität durch die beste verfügbare Lagertechnologie und breite Prozessfenster.
- Sehr hoher Gasdurchsatz sowohl beim klassischen Sputtergas Argon als auch bei thermodynamisch anspruchsvollen Gasen wie Krypton oder Xenon.
Hohe Leistung in allen Vakuum-Anwendungen
Unsere magnetgelagerten Turbomolekularpumpen sind optimiert für Vakuum-Produktionsverfahren mit hohem Gasdurchsatz bei hohem Betriebsdruck. In F&E-Anwendungen zeichnen sich die Pumpen durch minimale Vibrationen auch bei niedrigem Enddruck aus.
Eine frei wählbare Drehzahl erlaubt optimale Prozessanpassung oder auch den direkten Ersatz älterer Hochvakuumpumpen durch Anpassung auf deren Saugvermögen.
Optimale Betriebssicherheit
Bei Stromausfall wirkt der Rotor als Generator und speist den batteriefreien Controller. Der Rotor wird langsam abgebremst und geht sanft in die Notlauflager.
Ein vom Controller gesteuertes Belüftungsventil kann den Rotor im Falle eines massiven Lufteinbruchs oder mechanischen Schocks schnell und effektiv abbremsen und so Beschädigungen an der Pumpe vermeiden.
Mechanische Notlauflager stützen den Rotor im Falle extremer Lufteinbrüche oder unterbrochener Verbindung zwischen Pumpe und Controller. Der Zustand der Lager wird vom Controller überwacht.