| Specifications | ATP 2300 M | |
|---|---|---|
| Anschluss Saugseite | ISO-F, ISO-K, CF-F | DN 250 |
| Drehzahl | upm | 31000 |
| Saugvermögen Argon | l/s | 1800 |
| Saugvermögen Stickstoff | l/s | 1850 |
| Saugvermögen Helium | l/s | 1850 |
| Saugvermögen Wasserstoff | l/s | 1750 |
| Kompressionsverhältnis Argon | 1 · 108 | |
| Kompressionsverhältnis Stickstoff | 1 · 108 | |
| Kompressionsverhältnis Helium | 1 · 105 | |
| Kompressionsverhältnis Wasserstoff | 1 · 104 | |
| Enddruck | mbar | 10-9 |
| Max. Dauer-Gasdurchsatz N2 | sccm | 3000 |
| Max. Dauer-Einlassdruck | mbar | 0,05 |
| Max. Druck am Auslass | mbar | 1,5 |
| Nominelle Leistungsaufnahme bei Enddruck | W | 150 |
| Hochlaufzeit | min | < 10 |
| Abmessungen (L x B x H) | mm | 315 x 315 x 290 |
| Gewicht | kg | 50 |
| Kühlwasserverbrauch | l/h | 60 |
| Stromversorgung | 200 - 240 V - 50/60 Hz - einphasig | |
| Max. Leistungsaufnahme | W | 650 |
| Vibrationsgeschwindigkeit | µm | 0,01 |