Magnetgelagerte Turbomolekularpumpe ATH 500M

Die ATH 500M stellt die ultimative 5-Achsen-Magnetlagertechnologie an Flanschmaßen DN 100 und DN 160 zur Verfügung. Die Pumpe vereint integrierte Elektronik mit einer Holweckstufe für gute Vorvakuumverträglichkeit und eine für hohen Gasdurchsatz optimierte Turbostufe. Durch das kompakte Design bietet die ATH 500M eine direkte Alternative für viele Pumpen der 300 bis 700 l/s-Klasse mit konventionellen Kugellagern.

• Extreme Langzeitstabilität durch die beste verfügbare Lagertechnologie und breite Prozessfenster.
• Frei wählbare Drehzahl in breitem Drehzahlbereich für optimierte Prozessanpassung
• Aktives 5-Achsen-Magnetlager: keine Verunreinigung durch Schmiermittel, geringste Geräuschentwicklung und Vibrationen, in jeder Lage montierbar, permanente Kontrolle der Rotorposition,
• Hohe Vorvakuumverträglichkeit
• Hohe Lufteinbruchstabilität