| Specifications |
ATH 1300 M / 1300 MT |
ATH 1600 M / 1600 MT |
ATH 2300 MT |
| Drehzahl |
upm |
34000 |
39000 |
31000 |
| Anschluss Saugseite |
DN ISO-F |
|
|
250 |
| Saugvermögen Stickstoff |
l/s |
|
|
2100 |
| Saugvermögen Helium |
l/s |
|
|
2200 |
| Saugvermögen Wasserstoff |
l/s |
|
|
1200 |
| Kompressionsverhältnis Stickstoff |
|
1 · 107 |
6 · 107 |
> 109 |
| Kompressionsverhältnis Helium |
|
2 · 103 |
8 · 103 |
3 · 104 |
| Kompressionsverhältnis Wasserstoff |
|
1 · 102 |
3 · 102 |
3 · 103 |
| Enddruck |
mbar |
8 · 10-9 |
6 · 10-9 |
4 · 10-9 |
| Gasdurchsatz Spülgas |
sccm |
50 |
50 |
50 |
| Max. Dauer-Einlassdruck N2 |
mbar |
0,5 |
0,2 |
0,15 |
| Max. Dauer-Vorvakuumdruck N2 |
mbar |
1,5 |
1,5 |
1,5 |
| Max. Gasdurchsatz Stickstoff |
sccm |
3000 |
2500 |
2500 |
| Max. Temperatur (MT-Version) |
°C |
75 |
75 |
75 |
| Max. Ausheiztemperatur |
°C |
120 |
120 |
120 |
| Netzspannung integrierte Heizung (MT-Version) |
|
100 bis 240 V - 50 / 60 Hz |
100 bis 240 V - 50 / 60 Hz |
100 bis 240 V - 50 / 60 Hz |
| Vibrationsgeschwindigkeit |
µm |
0,01 |
0,01 |
0,01 |
| Empfohlene Vorpumpe |
|
ADP / ADS |
ADP / ADS |
ADP / ADS |
| Kühlwasserverbrauch |
l/min |
< 1 |
< 1 |
< 1 |
| Temperatur Wasserkühlung |
°C |
von 15 bis 30 |
von 15 bis 30 |
von 15 bis 30 |
| Anschluss druckseitig |
DN ISO-KF |
40 |
40 |
40 |
| Anschluss Spülgas |
DN ISO-KF |
16 |
16 |
16 |
| Hochlaufzeit |
min |
< 5 |
< 6 |
< 10 |
| Gewicht |
kg |
34 |
35.5 |
46 |
| Controller |
|
ACT 1300 M oder Magpower |
ACT 1300 M oder Magpower |
Magpower |
| Controller, Gewicht |
kg |
8 |
8 |
8 |
| Leistungsaufnahme bei Start |
VA |
650 |
650 |
650 |
| Nominelle Leistungsaufnahme |
W |
300 |
300 |
300 |
| Stromversorgung |
|
100 bis 240 V - 50 / 60 Hz - einphasig |
100 bis 240 V - 50 / 60 Hz - einphasig |
100 bis 240 V - 50 / 60 Hz - einphasig |
