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Hybrid-Turbomolekularpumpe ATH 200

Specifications		ATH 200 (I)
Anschlußflansch (Eingang)		DN 100
Saugvermögen für N₂	l/s	200
Saugvermögen für He	l/s	130
Kompressionsverhältnis für N₂		> 10⁹
Kompressionsverhältnis für He		10⁵
Enddruck (*)	mbar	< 5 · 10^-10
Max. Einlaßdruck	mbar	4 · 10^-3
Max. Auslaßdruck	mbar	4
Anschluss Intermediate Port		DN 25 (I Version)
Saugvermögen Intermediate Port Stickstoff	l/s	10 (I Version)
Saugvermögen Intermediate Port Helium	l/s	8 (I Version)
Empfohlene Vorpumpe		DSP PASCAL-Serie, ACP, AMD
Anschlußflansch (Ausgang)		DN 16
Einbaulage		Jede
Drehzahl	upm	36000
Schalldruckpegel	dBA	< 53
Vibrationsgeschwindigkeit	mm/s	0,3
Leistungsaufnahme bei Start	VA	100
Nominelle Leistungsaufnahme	W	150
Hochlaufzeit	min	< 6
Gewicht ISO-K / CF-F	kg	5,5 / 9,7
Steuergerät		ACT 202 H
Kühlart		Luft, Wasser

(*) nach Pneurop Standards (CFF Flansch, nach 48 Stunden ausheizen mit einer Drehschieberpumpe).