Hybrid-Turbomolekularpumpe ATH 200

Die ATH 200 erzielt einen Enddruck im 10^-10 mbar-Bereich und ist auf niedrigen Enddruck im Langzeitbetrieb ausgelegt. Als Vorvakuumpumpen können Drehschieberpumpen und ölfreie Membran- oder mehrstufige Wälzkolbenpumpen eingesetzt werden. Für den Einsatz in radioaktiver Umgebung kann die ATH 200 mit Nitrildichtungen zur verbesserten Strahlungsstabilität ausgerüstet werden.

• Zusätzlicher Vakuumanschluss (intermediate port, optional) mit sehr hohem Saugvermögen – optimal zum Aufbau differentiell gepumpter Systeme
• Vorvakuumverträglichkeit bis zu 4 mbar erlaubt den Einsatz einfacher Vorpumpen in kompakten und mobilen Messgeräten
• Flexible Integration auf Flansch DN 63 oder DN 100