Hybrid-Turbomolekularpumpe ATH 300

Die ATH 300 ist mit einem drehmomentstarken Motor ausgestattet, der den Einsatz der Pumpe im Zyklusbetrieb mit schnell aufeinanderfolgenden Druckschwankungen erlaubt. Ein maximaler Einlassdruck von 0,1 mbar im Dauerbetrieb stellt das hohe Saugvermögen bereits bei hohem Druck zur Verfügung und sorgt so für kurze Transferzeiten in industriellen Schleusensystemen. Aber auch der Enddruck der ATH 300 ist beeindruckend niedrig.

• Sehr hohes Kompressionsverhältnis auch für leichte Gase erzielt einen sehr niedrigen Enddruck
• Hohe Vorvakuumverträglichkeit bis zu 10 mbar erlaubt den Einsatz einfacher Vorpumpen
• Hoher Gasdurchsatz bei Dauereinlassdruck bis zu 0,1 mbar
• Zwei verschiedene Versionen – Standard und Korrosivgas
• Zusätzlicher Vakuumanschluss (intermediate port, optional)– optimal zum Aufbau differentiell gepumpter Systeme
• Flexible Integration auf Flansch DN 100, DN 160 oder als Einbauversion