Downloads
Tipp des Monats 06
Frage: Wide-range Turbomolekularpumpen sind doch Stand der Technik. Warum gibt es dann eigentlich immer noch die alten Modelle mit der schlechten Vorvakuumverträglichkeit?
Antwort: Wide-range Turbomolekularpumpen, auch Hybrid- oder Weitbereichs-Turbopumpen genannt, haben eine gute Vorvakuumverträglichkeit. Sie können aber in diversen Anwendungen auch Nachteile gegenüber den klassischen Turbopumpen ohne Holweck- oder Gaede-Stufe haben.
Hintergrund: Zunächst einmal arbeiten alle Turbomolekularpumpen im Fein- und Hochvakuumbereich bei sehr niedrigen Drücken. Dieser Pumpentyp benötigt dazu eine in Reihe geschaltete Vorpumpe (z. B. eine Drehschieberpumpe), die gegen den Atmosphärendruck verdichten kann. Der Enddruck bzw. Prozessdruck dieser Vorpumpe muss dabei unterhalb des in den technischen Daten angegebenen maximalen Vorvakuumdrucks (maximum exhaust pressure) der Turbopumpe im Dauerbetrieb liegen. Klassische Turbomolekularpumpen erlauben den Betrieb erst bei relativ niedrigen Vorvakuumdrücken von etwa 0,01 bis 0,1 mbar. Im Vergleich dazu benötigen Wide-range-Pumpen Vorvakuumdrücke von etwa 1 bis 10 mbar. Dadurch können diese schon mit Grobvakuum-Vorpumpen, wie z. B. einer Membranpumpe betrieben werden.
In der oben erwähnten Reihenschaltung wirkt die Turbomolekularpumpe als Strömungswiderstand beim Abpumpen von Atmosphärendruck, sofern kein Bypass eingesetzt wird. So ein Bypass besteht im allgemeinen aus drei Ventilen und diversen Installationselementen. Aufgrund der zusätzlichen Kosten wird deshalb häufig auf einen Bypass verzichtet.
Die Abstände zwischen Rotor und Stator sind in klassischen Turbomolekularpumpen größer als bei wirde-range Turbos - oder in Pumpen, die nur aus einer Molekularstufe bestehen. Damit bieten die klassischen Turbomolekularumpen einen geringeren Strömungswiderstand beim Abpumpen von Atmosphärendruck und erlauben so einen schnelleren Abpumpprozess. Dieser Strömungswiderstand unterscheidet sich allerdings von Modell zu Modell. Darum kann es zu deutlichen Unterschieden bei der Abpumpzeit eines Vakuumsystems kommen. Die Produktivität - z. B. eines Vakuumsystems mit häufigen Schleusenzyklen - wird damit massiv beeinflusst.
Durch die kleineren Spaltabstände sind wide-range Molekular-Stufen empfindlicher gegenüber dem Eintrag von Partikeln aus den Vakuumprozessen. Daher eignen sich klassische Turbomolekularpumpen eher für Anwendungen, wo robustere Pumpen benötigt werden, wie z. B. Prozesse in der glasverarbeitenden Industrie oder bei Beschichtungsprozessen.
Hier listen wir Ihnen die verschiedenen Typen der adixen-Turbomolekularpumpen auf:
die klassischen Turbomolekularpumpen der ATP-Reihe
die reinen Molekularpumpen der MDP-Reihe
die Hybrid-Turbomolekularpumpen der ATH-Reihe
Bei aktiv magnetgelagerten Turbopumpen wird die Typenbezeichnung jeweils durch ein "M" (magnetgelagert) oder durch "MT" (magnetgelagert und temperaturkontrolliert) ergänzt. Falls Sie sich nicht sicher sind, welchen Pumpentyp Sie einsetzen sollten - sprechen Sie mit uns!