Die Helium-Leckageprüfung, die normalerweise mit Massenspektrometern im Vakuum arbeitet, ist zugleich sehr selektiv und höchst empfindlich. Mit ihr sind Leckagen von 10-1 bis zu 10-12 mbar · l/s oder sogar noch kleiner nachweisbar.
Geringer natürlicher Hintergrund von 5 ppm
Die Anwendungsschwerpunkte: Für fast jede hochempfindliche Leckageprüfung mit sehr kurzen Taktzeiten, z.B. wenn in der Serienproduktion eine 100%-Prüfung aller gefertigten Teile gewünscht ist, bieten sich Helium-Lecksucher als erste Wahl an.