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Specifications		ASM 142 D	ASM Graph D	ASM Graph D+
Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium	mbar · l/s	5 · 10^-12	5 · 10^-12	5 · 10^-12
Max. Einlaßdruck	mbar	10	10	10
Helium-Saugvermögen am Einlass	l/s	1,3	1,3	1,3
Vorvakuum-Saugvermögen	m³/h	1 bis 18	1 bis 18	14
Hochlaufzeit	min	< 3	< 3	< 3
Energieverbrauch	W	< 500	< 500	< 1000

Specifications		ASM 142 D	ASM Graph D	ASM Graph D+
Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium	mbar · l/s	1 · 10^-7	1 · 10^-7	1 · 10^-7
Ansprechzeit	s	< 1	< 1	< 1