Ölfreie Wälzkolbenpumpstände
Ölfreie Wälzkolbenpumpstände sind state-of-the-art Lösungen für die anspruchsvollen Prozesse der Halbleiterindustrie. Sind die Prozessanforderungen geringer, z.B. in Schleusenanwendungen oder als Vorpumpen für Sputterprozesse, können luftgekühlte Pumpstände mit reduzierter Schutzausrüstung eingesetzt werden. Das Leistungsspektrum reicht dabei von Lösungen für kleine Vakuumkammern bis höchstem Durchsatz in der Solartechnolgie und Displayherstellung.